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开云怎么样:格林感光请求一种ArF光刻胶树脂的制备办法专利 显着进步光产酸剂使用功率

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格林感光请求一种ArF光刻胶树脂的制备办法专利 显着进步光产酸剂使用功率

  金融界2025年8月13日音讯,国家知识产权局信息数据显现,常州格林感光新材料有限公司请求一项名为“一种ArF光刻胶树脂的制备办法”的专利,公开号CN120463854A,请求日期为2025年06月。

  专利摘要显现,本发明供给一种ArF光刻胶树脂的制备办法,触及光刻胶技术领域,该制备办法有如下过程:S1:在容器中参加一定量的有机溶剂I后加热;S2:顺次取一定量的混合单体、引发剂、有机溶剂Ⅱ,混合均匀得到混合液;S3:将过程S2中的混合液匀速滴加于过程S1中的加热反响系统中,再向上述反响系统中参加含有仲胺化合物,持续反响2‑3小时,降至室温、过滤后得到ArF光刻胶树脂。本发明供给的ArF光刻胶树脂的制备办法,经过在树脂组成过程中引进抗刻蚀的甲基丙烯酸酯单体及环氧结构单体,并使用仲胺化合物进行后处理,避免了苯环在193nm波段对光的竞赛吸收问题,显着进步了光产酸剂的使用功率。

  天眼查资料显现,常州格林感光新材料有限公司,成立于2017年,坐落常州市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本8930万人民币。经过天眼查大数据分析,常州格林感光新材料有限公司共对外出资了3家企业,参加招投标项目1次,产业线条,此外企业还具有行政许可17个。

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